什么叫万级无尘车间?
万级无尘车间隔间分为三大部分,更衣室,千级区和百级区,更衣室与千级区,千级区和百级区均设风淋室(airshower),无尘车间与室外设有物品收支通道传递箱(passbox),当人员进入无尘室时,首先要通过风淋室,对***所带的尘埃吹淋,削减人员带入无尘室的尘埃,传递箱则是对物品尘埃进行吹淋,到达落尘的作用。
无尘车间的作用
无尘车间内的气流是左右洁净室功能的重要要素,通常洁净室的气流速度是选在O25~0.5mis之间,此气流速度属和风区域,易受人、机器等的动作而搅扰趋于素乱、虽进步风速可***此一打乱之影响而坚持洁净度、但因风速的进步,将影响作业本mro工业品采购钱的添加,所以应在满足要求的洁净度水准之时,能以恰当的风速供给,以到达恰当的风速供给以到达经济性效果。
无尘车间在各行业中的温度标准
集成电路生产加工行业
在大规模集成电路生产的光刻***工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,引起了0.24um线性膨胀,所以须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。
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