无尘净化车间需要注意的细节问题

风管要求经济与效率并重,在无尘车间工程集中或净化空调系统中，对风管的要求是既经济又能有效地送风。前者要求体现在价格低廉，方便施工，运行成本，内表面光滑阻力小。后者是指严密性好，不漏气，不发尘，不积尘，不污染，可耐火、耐腐蚀、耐潮湿。

电话和火警设备不能少,在无尘净化车间工程厂房设置电话，对讲电话，可以减少人员在洁净区走动，减少发尘量，也可在万一发生火灾时及时与外部联系，也为正常工作联系创造条件。此外，无尘净化车间还应设置火灾报警系统，防止火情不易被外部发现而造成重大经济损失。

早期的工业洁净室

第1个工业生产用洁净室是在第二次世界1***中投入使用的，其主要目的是提高枪1械、坦克、飞机用仪器的质量和可靠性。那时人们认识到，必须提高生产环境的洁净度，否则投弹瞄准器这样的装置就会出现故障。但当时只要假定洁净室要保持得象人们的住房那样清洁，于是便使用了不产生粒子的不锈钢做表面装修并保持其清洁。但人们还没有认识到，由机器和人员产生的大量悬浮粒子之扩散，应由大量的洁净送风使之降至***低。

半导体、集成电路生产的无尘车间要求

半导体材料提纯作为发展半导体器件的重要基础。由于大规模和超大规模集成电路的工艺要求，为得到高纯度的硅材料，原料和中间媒介的高纯度和生产环境的洁净度成为影响产品质量的一个突出问题。集成电路芯片的成品率与芯片的缺陷密度有关，而芯片的缺陷密度与空气中粒子个数有关。因此，集成电路的高速发展，不仅对空气中控制粒子的尺寸有极高的要求，而且也需进一步控制粒子数；同时，对于超大规模集成电路生产环境的化学污染控制也有相关的要求。