无尘车间在各行业中的温度标准

集成电路生产加工行业

在大规模集成电路生产的光刻***工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，引起了0.24um线性膨胀，所以须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。

无尘车间的保洁注意事项

1、在洁净室里吸尘应使用带有***过滤器的专用真空吸尘器。

2、所有的门都需要检查并擦干

3、吸完地以后再擦地。一周擦一次墙面。

4、架空地板下也要吸尘及擦拭。

5、三个月擦一次架空地板底下的柱子和支撑柱。

6、工作时一定要记住，永远是由上往下擦，从离门远的地方向门的方向擦。

7、清洁洁净室的地面应使用专用拖把。

无尘车间工程里节约能源有哪些地方

双温度冷冻循环

无尘室冷冻系统通常设计成可以承受大负荷，不管大负荷发生得是否频繁。流程中处于冷冻循环的冷冻水温度，是由所有负荷中只占一小部分的极端热负荷来确定，这只是许多情况中的一两种。这会造成冷冻能力过剩，在负荷不足的情况下效率低下。当供给的冷冻水的温度较低时，冷冻机的工作效率也会很低。平均来说，冷冻水的供给温度每增加一华氏度，冷冻器效率提高一个百分点以上。如果划分负荷，提供两个不同温度的冷冻水，那么工作效率将会更高。设计人员可以使用并联循环管路，将他们 成两个子系统，这样可以在需要大冷量的时候，冷冻机可以工作在相对不很苛刻的条件下。用专用冷冻机进行中等温度的循环（例如55oF到65oF），它的运作是针对冷冻水的温度进行优化的，可以满足工厂的大部分需要。另一个较小的***冷冻机提供温度较低的循环（例如：39oF到43oF），可以满足负荷中要求苛刻的部分。这个方案可以迅速增加整个冷冻机机组的效率提高百分之二十五或更多。对于相同容量的冷冻机，高温工作要比低温工作花费小得多。