实验室超纯水设备基本工艺流程和指标

超纯化后处理系统

紫外线杀菌灯与TOC紫外消***

紫外线杀菌灯采用254nm波长的紫外线照射杀菌，可有效***微生物的DNA分子，使之形成TT两聚体而无法繁殖，是空气、水安全有效的常用灭菌方法。超滤（Ultrafiltration，缩写“UF”）膜的孔径介于反渗透和微滤之间（约0。TOC紫外消***采用可同时产生185nm/254nm双波长的紫外线灯管，其中185nm紫外线在空气中可产生臭氧而杀菌除味，在水中会产生氢氧自由基，可将纯水中微量有机物迅速氧化为CO2，达到去除TOC的目的。

正确维护***纯水处理设备的重要性解析

在晶体管、集成电路生产中，纯水主要用于清洗硅片，另有少量用于药液配制，硅片氧化的水汽源，部分设备的冷却水，配制电镀液等。超纯水设备防止反渗透膜结垢防止反渗透膜结垢现象的发生要从四方面着手，滤速方面，过滤器的滤速不能太快又不能太慢反洗，反洗过程中必须要具有一定的时间和流速，反洗效果好，过滤器的运行才能良好。集成电路生产过程中的80%的工序需要使用高纯水清洗硅片，水质的好坏与集成电路的产品质量及生产成品率关系很大。水中的碱金属(K、Na等)会使绝缘膜耐压不良，***(Au、Ag、Cu等)会使PN结耐压降低，Ⅲ族元素(B、Al、Ga等)会使N型半导体特性恶化，Ⅴ族元素(P、As、Sb等)会使P型半导体特性恶化，水中***高温碳化后的磷(约占灰分的20-50%)会使P型硅片上的局部区域变为N型硅而导致器件性能变坏，水中的颗粒(包括***)如吸附在硅片表面，就会引起电路短路或特性变差。

导致设备电导率忽高忽低的原因

1、预处理过滤没有定期进行冲洗。

2、超纯水设备精密过滤器受到污染没有及时清洗更换。

3、反渗透膜受到污染，没有及时清洗更换。

4、没有严格的对反渗透系统进行维护***。

5、制水时的水温偏高、进水PH值等数据没有在合理区间。

以上就是超纯水设备制造厂商分享的导致设备电导率忽高忽低的原因，希望对大家有所帮助。