高纯氧用于二氧化硅的化学气相沉积！

高纯气体对于不同类别的气体，纯度指标不同，例如对于氮，氢，***，氦而言。

工业氧气一般仅要求含氧纯度，对其它卫生条件等无特别要求，同时，它还含有超标的1氧化碳、甲1烷等***气体，水分、***和灰尘含量也很高，工业氧气主要用于焊接、气焊、气割等。

氧气是空气的组分之一，无色、无嗅、无味。氧气密度比空气大，在标准状况（0℃和大气压强101325帕）下密度为1.429克/升。大规模生产氧气的方法是分馏液态空气 ，首先将空气压缩，待其膨氧胀后又冷冻为液态空气，由于稀有气体和氮气的沸点都比氧气低，经过分馏，剩下的便是液氧，可贮存在高压钢瓶中。

氧气的物理特性

它们在简单的原子和分子水平上存在差异，我们在大气中***熟悉的氧气在每个分子中都有两个原子，化学家通过将公式写为O 2来 证明这一点 ，小“2”表示“每分子两个原子”；相比之下，新生氧每分子只有一个原子，公式只是O，有时是（O），括号表明在正常条件下新生氧不会存在很长时间，它有形成分子氧的倾向： 也就是说，分子氧是室温下氧的正常条件。

氧气，臭氧的第三个同素异形体，每个分子中有三个原子，化学式为O 3 ，像新生的氧气一样，在正常条件下臭氧不会存在很长时间，它往往会分解并形成分子氧： 在特殊条件下，臭氧确实会发生相当大的量。例如，地球上层大气中存在异常大量的臭氧，臭氧层对地球上的生命很重要，有时也会发现臭氧更接近地球表面，我是在汽车和卡车燃烧时生产的，这是空气污染的一部分，地面臭氧对生命无益，可能对植物，人类和其他动物造成健康问题。