纯水主要应用于各种电子产品的清洗,纯水的使用可以避免水中杂质对电子产品的污染。应用于电子厂房的纯水的主要特点不只是水的电阻率高,还对颗粒度、总有机碳(TOC)、总硅、溶解氧(DO)、以及各种离子的含量有不同的要求。工艺冷却水管道的选择,半导体、TFT-LCD等行业的工艺冷却水系统为避免工艺设备冷却盘管的结垢及堵塞,对工艺冷却水水质提出了要求。
塑料管道,根据工艺冷却水的水质要求,PVC管道即可满足要求。常用的PVC有两种,硬质聚(PVC-U)由聚乙烯单体聚合而成的一种热塑性高分子化合物;氯化聚(PVC-C)由聚树脂氯化得到的一种独特的聚合物。由于PVC管道有较强的耐腐蚀性,故而即使水质呈弱酸、弱碱性,也不会造成管道的腐蚀。但塑料管道需注意工作压力的问题,由于工艺设备内的冷却管道管径小而造成了较大的水头损失。
管材性能比较,选择管材的依据主要是管道的溶出物(见表1)及内表面光洁度。主要应用的管道有Clean-PVC管、洁净PP管、PVDF管几种。Clean-PVC管采用耐冲击硬质聚制造,其比普通PVC管含有较少的添加剂。从而减小了管道内壁的粗糙度(Clean-PVC管的表面粗糙度小于0.37 μm,而普通PVC管的表面粗糙度在1.0 μm)以及污染物的析出。
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