




洁净室内部的装修材料应尽量避免采用在燃烧时产生大量浓烟和有***体的高分子合成材料。根据“洁净厂房设计规范”规定:洁净室的顶棚和壁板(包括夹心材料)应为不燃烧体,且不得采用有机复合材料。顶棚的耐火极限不应低于0.4h,疏散走道的耐火极限不应低于1.0h。特别要重视参观走廊的隔墙(包括大面积玻璃窗)的耐火极限问题。技术竖井的井壁的耐火极限也不应低于1.0 h。


单向流洁净室:
单向流(层流)洁净室,万级洁净室,其中又分垂直单向流洁净室和水平单向流洁净室。
单向流气流的净化原理是活塞和挤压原理,把灰尘从一端向另一端挤压出去,净化洁净室,用洁净气流置换污染气流。包括有垂直单向流和水平单向流。
垂直单向流是气流以一定的速度(0.25m/s~0.5m/s)从顶棚流向地坪的气流流型。这种气流能创造100级、10级、1级或更高洁净级别。但其初***很高、运行费很高,工程中尽量将其面积压缩到小,用到必须用的部位。
水平单向流是气流以一定的速度(0.3m/s~0.5m/s)从一面墙流向对面的墙的气流流型。该气流可创造100级的净化级别。其初***和运行费低于垂直单向流流型。


洁净室的空调负荷特点:
服务于微电子和光电子的高别洁净室因工艺排风量大,所以新风量也很大,合肥洁净室,新风量一般在10~20次/h换气;因此,千级洁净室,处理如此多新风的负荷大约为400~800 W/m2;个别工艺的排风量更大,固新风负荷也还会更大。因此新风负荷大是其第二个负荷特点。
生产设备和生产过程的散热、散湿负荷大,是高别洁净室的第三个负荷特点。生产负荷的大小是与工艺生产本身的性质、生产设备的密闭、保温、通风以及水冷却的情况有关。


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