洁净室的布置要求
一、洁净厂房的平面布置应合理安排洁净生产区、辅助区和动力区,并应符合下列要求: 1、洁净室(区)人员净化、物料净化和各种辅助永房,应合理分区布置。 2、生产工艺或生产设备有特殊要求时,宜分隔为单独的房间。 3、生产过程中排放腐蚀性气体的生产设备或生产工序应分类、集中布置或与其他生产房间分隔。 4、发热量、发尘量大的生产工序或生产设备,宜与空气洁净度要求严格的房间分隔布置。 5、洁净室(区)的辅助设备、维修间等技术支持区,万级洁净室,宜集中布置在洁净室(区)的相邻房间,技术支持区的空气洁净度等级应低于洁净室(区)的等级。 6、若需在洁净室(区)内设置洁净电梯时,应采用气闸间、洁净送风措施。 7、应符合有关防爆、防火、消防等要求。
洁净室检测之静电检测与验收
B.防静电地面的面层结构和用料应符合下列基本要求:
a.防静电地面的表层应是静电耗散性的材料,其表面电阻率应为1.0×105~1.0×1012Ω/□;或体积电阻率为1.0×104~1.0×1011Ω.cm。一级标准防静电地面的表层材料,其表面电阻率的上限应小于1.0×109Ω/.cm;或体积电阻率的上限应小于1.0×108Ω.cm。而且还应对材料进行静电衰减的量化检验,无尘洁净室,半衰期应小于0.5s。
b.防静电地面应有导静电泄放措施和接地构造,其地面对地泄放电阻值应为1.0×105~1.0×109Ω。一级标准防静电地面对地泄放电阻值的上限应不小于1.0×107Ω;二级标准防静电地面对地泄放电阻值的上限应不小于1.0×108Ω。
洁净室发生火灾的危害:
洁净室处于密封状态,若发生火灾,烟气热量积聚,从送风管道等蔓延途径众多。由于洁净室少门窗,安徽洁净室,发生火灾时烟气不会流出洁净室外,并对洁净室内部人员的呼吸造成障碍,而且不容易被外界发现,进行施救。火灾产生的热量也不易向外界扩散,百级洁净室,造成热量剧增,火势从送风管道、电气线路套管等蔓延,很有可能造成重大事故。
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