什么样的空调系统才适宜用在无尘净化工程中呢？净化空调系统温湿度精度高，普通空调的舒适性要求一般精度有限。但无尘车间的空调为了满足工艺要求，应对不同的温度和湿度差异要求，净化系统空调的温度和湿度的精度要求非常高。必须保证无尘室内恒温恒湿。而且空调机组还需有制冷加热、加湿除湿这些功能，而且必须精密调控。

净化工程中平面位置安装基准线对基础实际轴线允许偏差不得超过图纸要求。安装时，设备的连接管口与其开口的地方的封闭不能拆掉，以免杂物进入到设备内部。检查设备不应有缺件，损坏和锈蚀现象。设备的单车试车，试车前，电的仪器及保护连锁应具备使用条件，水冷系统应符合要求。试车中，关键的是按照设计要求检查温度，压力，震动三个的安装质量标准，单机试车中必须达到试车要求。试车结束后应及时完成下列工作：断开动力电源，拆除试车的临时设备，整理试车运转记录。

在实际施工中，净化项目通常分为***，分工和分时。 这种安排有利于各种***和工作类型的管理。 但是，易于进行多尘和无尘的交叉操作，应尽可能避免这种结构布置。 如果不可避免，应该防止灰尘和有效清洁。洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。

净化工程的一步的关键是设计，工程设计水平的好与坏将直接关系到整个工程之后的施工，还会影响净化工程今后的稳定性、可靠性、经济性。相对湿度越高,粘附的难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产温度范围为35—45%。湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。