选用真空泵时,需要注意下列事项:
1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度,选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,如:扩散泵为10-3~10-7mmHg,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,青海真空泵,其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,水环式真空泵,而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。
研发能力差,可以说没有资金的投入或只有少量资金的投入。既使是所谓的新产品研发,真空泵公司,也只是走边接单,边设计,边生产的模式,在某种程度上造成了设备性能的不可靠和工艺的不成熟,给客户的使用带来了隐患。国外的同行在研发上投入大量的资金,进行关键件、基础件的研制,进行工艺的摸索和固化,形成了某一产品或某一领域的优势。待我们进行研发时,旋片真空泵,也只能跟在别人的后面跑,更谈不上原创型,当快要成熟或市场上形成一定竞争力时,别人又有长期研发成功的产品推向市场,形成了竞争的良性循环。
根据以上原则,当泵所需的真空度或气体压力不高时,可优先在单级泵中选取。如果真空度或排气压力较高,单级泵往往不能满足,或者,要求泵在较高真空度情况下仍有较大气量,即要求性能曲线在较高真空度时较平坦,可选用两级泵。如果真空度要求在-710mmHg以上,可选用水环-大气泵或水环-罗茨真空机组作为抽真空装置。
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