蒸发离子泵:泵内被电离的气体吸附在以间断或连续方式升华(或蒸发)而覆在泵内壁的吸气材料上,以实现抽气的一种真空泵。
真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。低温泵:利用低温表面捕集气体的真空泵。正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,安徽真空泵,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。
立式结构的进、排气口水平设置,装配和连接管路都比较方便。但泵的较高,在高速运转时稳定性差,真空泵维修服务,故这种型式多用于小泵。真空泵与系统的连接管道应密封可靠,对小真空泵可采用金属管路连接密封垫采用耐油橡胶,对小真空泵可采用真空胶管连接,真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
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