工业有机废气的低温等离子体的治理设备

常见的产生等离子体的方法是气体放电，所谓气体放电是指通过某种机制使一电子从气体原子或分子中电离出来，形成的气体媒质称为电离气体，如果电离气由外电场产生并形成传导电流，这种现象称为气体放电。根据放电产生的机理、气体的压j源性质以及电极的几何形状、气体放电等离子体主要分为以下几种形式：①辉光放电；③介质阻挡放电；④射频放电；⑤微波放电。无论哪一种形式产生的等离子体，都需要高压放电。容易打火产生***。由于对诸如气态污染物的治理，一般要求在常压下进行。

针对半导体行业有机废气和毒性气体的治理，低温等离子废气处理技术的净化原理是：

将普通的220V/380V交流电通过变压器，变频器转换为高频高压的电压，产生足以击穿气体的电压，释放出高能电子，高能电子***有机废气中的气体分子之间的化学键，断开这些化学键从而产生了各种碳原子、氧原子、氢原子、氢氧自由基、臭氧等混合体，等离子体中的氧原子和碳原子结合形成二氧化碳，氧原子和氢原子结合形成水分子，终产生排放到大气中的气体为无污染的二氧化碳（CO2）和水(H2O)。

工业废气除臭方法

掩蔽法

脱臭原理：采用更强烈的芳香气味与臭气掺和，以掩蔽臭气，使之能被人接收。

适用范围：适用于需立即地、暂时地消除低浓度恶臭气体影响的场合，恶臭强度2.5左右，无***排放源。

优点：可尽快消除恶臭影响，灵活性大，费用低。

缺点：恶臭成分并没有被去除。

热力燃烧法、催化燃烧法

脱臭原理：在高温下恶臭物质与燃料气充分混和，实现完全燃烧。

适用范围：适用于处理高浓度、小气量的可燃性气体。

优点：净化效率高，恶臭物质被彻底氧化分解。

缺点：设备易腐蚀，消耗燃料，处理成本高，易形成二次污染。