净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造，其特点为美观、刚性强。圆弧墙角、门、窗框等一般采用专用氧化铝型材制造.每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了国际无尘标准的级别。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于标级，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。5μm及以下的微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是业内俗称的1K级别。

与监理单位沟通及协调

（1）在施工过程中，严格接受监理工程师的管理。安装的质量检验项目在自检后主动邀请监理工程师进行检查。

（2）按照要求将施工计划和完成情况定期地上报监理工程师。

（3）对施工中出现的问题或不合格项目，严格按照监理工程师的要求进行整改，直至达到要求为止。

按照项目法施工的要求，进行全过程、的规定、***、控制和协调工作。现场施工管理工作分为三个阶段，确保有效的控制现场环境卫生，以项目完工时达到洁净要求。

净化车间共有五部分组成：

1、隔间

净化车间隔间分为三大部分,更衣室,千级区和百级区,更衣室与千级区,千级区和百级区均设风淋室(airshower),净化车间与室外设有物品出入通道传递箱(passbox).当人员进入净化车间时,首先要经过风淋室,对***所带的灰尘吹淋,减少人员带入净化车间的灰尘.传递箱则是对物品灰尘进行吹淋,达到落尘的效果。

2、风系统风系统流程图

系统采用的是全新风空调箱 FFU 系统：

lt;1gt;全新风空调箱结构

lt;2gt;FFU:(FANFILTERUNIT)即风机和过滤器

千级区过滤器采用HEPA,过滤效率99.997%,百级区过滤器采用ULPA,过滤效率99.9995%。

净化车间烟控原理及设计方式

近几年来，在我国的新竹科学工业园区内陆续发生了多次半导体厂房火灾事故，虽然所造成的人员***不大，但对于财物的损失却很可观，其数目动辄以数十亿乃至百亿元新台币计算，对业界所造成的损伤与危害可想而知。高温浓烟才是造成财损的元凶，但由于土地取得不易，净化车间厂房多向高楼层发展，高智慧的技术人力及昂贵的设备机台集中在厂房内，万一发生火灾意外，损失将数十倍于一般工厂。此外，高科技净化车间厂房内使用许多的性与性气体，例如SiH4、H2、PH3 等，更增加厂房内的潜在***，若无适当的对策与措施，因此，为了降低火灾发生时人员的***与财物的损失，必须对建筑物进行烟流控制，这一点新加坡已强制规定执行，而在邻近的日本、大陆或香港也有类似烟流控制***，其目的都是在降低火灾发生时，高温烟流对员工及设备污染的伤害。