净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造，其特点为美观、刚性强。圆弧墙角、门、窗框等一般采用专用氧化铝型材制造.每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了国际无尘标准的级别。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于标级，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。5μm及以下的微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是业内俗称的1K级别。

这一阶段可界定为阶段之后、吹扫之前的作业过程，工作内容如壁板及吊顶板安装、各***管线穿壁板安装、灯具安装等，以及采用局部擦洗、真空吸尘等方法进行彻底的清扫工作。

（1）凡进入该区域的人员，必须经过该阶段管理规定的培训，并佩带相应的胸徽（准入证）入室；

（2）进入该区域的人员，应穿着干净的工作服、鞋具，后期应穿着洁净服、洁净鞋(或普通干净的鞋共应会穿洁净鞋套〉:

（3）带入的材料应是洁净的，工具、机具要清洗干净后才能带入室内；

（4）所有产尘作业须严加控制，发生碎屑、尘埃，应立即用吸尘器清除；

（5）洁净室内不得吸烟、饮食和饮水；

（6）洁净室内每天由专职人员至少清扫一次；

（7）室内防止堆积过多材料；

（8）除必须的、物流门洞外，其他门洞应予以封堵；

（9）室内严禁大小便；

（10）有违犯以上规定者，应立即取消在无尘车间工作的资格。

设备要具有足够的刚度，塔设备中的塔板、受外压的容器壳体、端盖等都要满足刚度要求；净化车间设备的主体部分和其他零件，都要由足够的强度（strength)，以保证生产(Produce)和人生安全，一般在设计时常将各零件做成等强度，这样节省(spare)材料，但有时也有意识地将某一零件的承载能力设计得低一些，当过载时这个零件首先***而使整个设备不受损坏。净化车间是指控制产品 (如硅芯片等) 所接触大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造。此环境空间的设计施工过程即可称为净化工程。

其他系统

不只是空调系统,净化车间系统中还包括有真空,空压,氮气,纯水,废水,二氧化碳系统,制程排气系统,检测标准：

1、气流速度及其均匀度检测，这项检测是净化车间效果的其他各项检测的前提，这项检测的目的是为了明确单向流净化车间工作区的平均气流通度及其均匀性。

2、系统或房间的风量检测。

3、室内洁净度的检测。洁净度的检测是为了确定洁净环境可达到的空气洁净度级别，可采用粒子计数器检测。

4、自净时间的检测。通过确定自净时间，查明洁净室内部发生污染时***其原有洁净度的能力。

5、气流流型检测。

6、噪声的检测。

7、照度的检测。照度检测的目的是为了判明洁净室的照度水平和照度的均匀性。

8、振动的检测。振动检测的目的是为了判明净化车间各表明的振动幅度。

9、温、湿度的检测。温、湿度检测的目的是把温度、湿度调整到一定限度内的能力。其内容包括检测净化车间的送风温度，检测有代表性测点的空气温度，检测净化车间中心点的空气温度，检测敏感元件处的空气度，检测室内空气相对温度，检测回风温度。

10、总风量和新风量的检测。