净化工程之“肺“--HEPA过滤器的由来

以确保空气清洁，使科学家可以免遭危害。随后科学家在约翰斯·滕豪斯所改良的空气过滤器的基础上进一步的发展研发，终于研发出了HEPA过滤器。这种过滤器不仅可以净化空气，还可以去除空气中的***、病毒、灰尘、花粉、霉菌孢子等粉尘及颗粒物。

早的过滤器为有隔板过滤器,用瓦楞状铝箔隔板分隔滤纸。20世纪70年代之前。

过滤器DOP（PAO）检漏法在洁净室中的应用

过滤器（HEPA）一般是指对粒径≥0.3μm粒子的捕集效率在99.97%以上的过滤器，通常作为企业洁净室的末端过滤装置，用以提供洁净的空气。洁净室是否能达到和保持设计的洁净级别在一定程度上与过滤器的性能及其安装有关。因此对洁净车间 的过滤 器进行检漏测试，确保其符合要求，是保证车间洁净环境的重要手段之一。

需补充发尘才能明显、容易地发现泄漏。

人工气溶胶DOP已有近40年历史，一段时间以来，因被怀疑对人有致***作用，现常以DOS（Dioctylsebaeate 癸二酸二辛脂）亦称DEHS[di(2- ethylexyl)sebacate]及PAO（polyaphaolefin聚a烯烃）等代替，但实验方法仍称“DOP（PAO）法”。大气尘由于其浓度随地点及时间等变化，有时较高，有时较低，一般不用来作为检漏用。