电子气体的分类

一般电子气体可划分为大宗普通气体、特种气体和大宗特种气体。目前电子消费品的种类繁多以及升级换代日趋频繁，同类产品的不同制造规模、不同级别档次的生产工厂和科研机构共存。

大规模供气系统主要针对大规模量产的超大规模集成电路厂（气体种类包括等），以上的太阳能电池生产线（气体种类包括发光二极管的磊晶工序线（气体种类包括，代以上液晶显示器工厂（气体种类包括，光纤（气体种类包括硅材料外延生产线（气体种类包括等行业。它们的***规模巨大，采用***的工艺制程设备，用气需求大，对稳定和不间断供应、纯度控制和安全生产提出严格的要求。上述工厂的大宗普通气体多采用现场制气或工业园区管道集中供应方式，一个年产万片的超大规模集成电路厂高纯氮气的需求超过，发光二极管的磊晶工序线和硅外延生产线的氢气需求超过。除了普通钢瓶（及以下）包装的特种气体外，还有多种类的特种气体都普遍采用大包装容器，由此它们被称为大宗特气，包括钢瓶集装格罐等。

电子气体污染控制要求日趋严格随着电子消费品的升级换代，产品制造尺寸越来越大，产品良率和缺陷控制越来越严格，整个电子工业界对电子气体气源纯度，以及杜绝输送系统二次污染的要求越来越苛刻。基本上工业界对电子气体气相不纯物以及颗粒度污染提出的技术指标，直接与分析仪器技术进步带来的较低检测极限（直接关联。如传统的激光颗粒测试仪可测到微米，而核凝结技术可达到微米。目前超大规模集成电路制造线宽已经发展到纳米，对于大宗气体的纯度都要求在级别，颗粒度控制直指分析仪器的下限。实验室超高亮度技术指标已达到以上，对于氢气和氨气的纯度控制要求也都小于氨气则釆用多级精馏生产技术指标到达的白氨的氢气需要采用***的钯膜纯化器提纯至。

高纯管道在高纯气体输送中的意义

常见气体的种类 w* r% P( G( `5 K _* u, Aamp; ~

电子行业中常见气体的分类：/ c9 A7 q6 Aamp; P$ e, [amp; |; F3 O

普通气体，也称大宗气体 （Bulk gas ）：氢气（H2）、氮气（N2）、氧气（O2）、***气（A2）等

特种气体（Specialty gas ）主要有 SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4 NH3POCL3 SIH2CL2 SIHCL3 NH3 BCL3 SIF4 CLF3 CO C2F6 N2O F2 HF HBR SF6……等等