电子气体的分类

一般电子气体可划分为大宗普通气体、特种气体和大宗特种气体。目前电子消费品的种类繁多以及升级换代日趋频繁，同类产品的不同制造规模、不同级别档次的生产工厂和科研机构共存。

大规模供气系统主要针对大规模量产的超大规模集成电路厂（气体种类包括等），以上的太阳能电池生产线（气体种类包括发光二极管的磊晶工序线（气体种类包括，代以上液晶显示器工厂（气体种类包括，光纤（气体种类包括硅材料外延生产线（气体种类包括等行业。它们的***规模巨大，采用***的工艺制程设备，用气需求大，对稳定和不间断供应、纯度控制和安全生产提出严格的要求。上述工厂的大宗普通气体多采用现场制气或工业园区管道集中供应方式，一个年产万片的超大规模集成电路厂高纯氮气的需求超过，发光二极管的磊晶工序线和硅外延生产线的氢气需求超过。除了普通钢瓶（及以下）包装的特种气体外，还有多种类的特种气体都普遍采用大包装容器，由此它们被称为大宗特气，包括钢瓶集装格罐等。

真空镀膜时为什么要用到高纯气体

在真空离子镀膜中，所选用不同气体所生产出来的，液态气体色泽也会不一样，***气一般用作创造镀膜的环境镀钛和铬时，工业气体充入氮气可生产出银色和***的产品而想要生产出黑色或***的产品，则需要加入气体加入氧气则生产蓝色的产品。除了气体外所生产出的产品颜色还受压力、温度、时间等条件影响。

真空电镀是利用的什麽原理?

在高真空度的条件下，高纯度的镀层金属（如铝）在高温下蒸发后会自由地飞散开并沉降在工件表面，形成镀层。***气为保护性气体，防止氧化反应影响镀层质量。***气在电镀过程中有何用?

***气不参与反应，只是增加气压，改善镀膜时靶的放电条件，***气不是用于镀膜，主要用于创造镀膜的环境。氮气和***气都是惰性气体,冲进去以后,一 可以排除氧气,防止氧化,二更具氮气和***气在扩散泵内的含量比例不同,可以镀膜出不同的颜色.主要是为了改变镀膜出来产品的色彩.

高纯管道在高纯气体输送中的意义

常见气体的种类 w* r% P( G( `5 K _* u, Aamp; ~

电子行业中常见气体的分类：/ c9 A7 q6 Aamp; P$ e, [amp; |; F3 O

普通气体，也称大宗气体 （Bulk gas ）：氢气（H2）、氮气（N2）、氧气（O2）、***气（A2）等

特种气体（Specialty gas ）主要有 SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4 NH3POCL3 SIH2CL2 SIHCL3 NH3 BCL3 SIF4 CLF3 CO C2F6 N2O F2 HF HBR SF6……等等