什么是电子气体

电子气体是超大规模集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产不可缺少的原材料，它们广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。例如在目前工艺技术较为***的超大规模集成电路工厂的晶圆片制造过程中，全部工艺步骤超过道，其中大约要使用种不同种类的电子气体。

电子气体输送系统是指为满足工艺制程的需求，在充分保证工艺和产品安全使用的前提下，将电子气体从气源端无二次污染、控制工艺需求的流量和压力等参数、稳定地输送到工艺生产设备的用气点。根据气体性质和供应包装的不同。

电子气体多以集中式供应为趋势

电子气体多以集中式供应为趋势，特种气体集中放置在气体房。输送系统的数量是根据机台对流量的需求进行合理配置。特气输送设备必须采用全自动切换供气，而且多设计了备用设备。对于低蒸汽压气体（等），需要考虑钢瓶加热，气体面板加热，管道伴热等。为了精准控制流量，在气源端一般会考虑配置精度的压力变送器，电子秤，温控器等。在机台用气点也都配置了质量流量计。对于大流量的不但要考虑管路压降和液化钢瓶蒸发吸热对流量的影响，还要考虑气体经过调压阀减压后的焦耳汤普逊效应。

***气体的健康危害

***途径：吸入。

健康危害：***气体对人基本***，但浓度过高时，使空气中氧含量明显降低，使人窒息。当空气中***达25%-30%时，可引起头疼、头晕、乏力、注意力不集中、呼吸和心跳加速、共济失调。若不及时远离，可致窒息。皮肤接触液化的***，可致冬伤。

***气体对环境可能有危害，对鱼类和水体要给予特别注意。还应特别注意对地表水、土壤、大气和饮用水的污染。