什么是电子气体

电子气体是超大规模集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产不可缺少的原材料，它们广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。例如在目前工艺技术较为***的超大规模集成电路工厂的晶圆片制造过程中，全部工艺步骤超过道，其中大约要使用种不同种类的电子气体。

电子气体输送系统是指为满足工艺制程的需求，在充分保证工艺和产品安全使用的前提下，将电子气体从气源端无二次污染、控制工艺需求的流量和压力等参数、稳定地输送到工艺生产设备的用气点。根据气体性质和供应包装的不同。

标准气体有哪些分类

标准气体有哪些分类？

1、常见的标准气体按用途包括：气体报警类标准气体、电力能源类标准气体、石油化工类标准气体、环保监测类标准气体、卫生类标准气体、仪器仪表类标准气体等。

2、标准气还可用于环境监测，***的有机物测量，汽车排放气测试，然气BTU测量，校正标准，超临界流体工艺等。

3、大型乙烯厂，合成氨厂及其它石化企业，在装置开车，停车和正常生产过程中需要几十种纯气和几百种多组分标准混合气，用来校准，定标生产过程中使用的在线分析仪器和分析原料及产品质量的仪器。

***气是一种惰性气体，现在广泛应用于工业行业，是一种很有用的稀有气体，***气性质非常不生动，它既不能焚烧，也不能助燃，因而稳定性很好，***气不会发生化学反应而爆燃爆，只有可能因为科拉贝隆推导公式的压强改变而燃爆。***气罐很结实，也不会像煤气罐那样单片横飞，ArF是有的，但温度改变不大，一般情况下，乃至高温高压下都没有问题。 高纯***气的***履行标准是GB/T10624—1995，质量要求到达99.999%以上。

***气是采用空气分离提***，即将液化的空气进行精馏,得到粗***.抽出粗***,经进一步提纯可得到高纯***，高纯***在半导体工业中用作出产高纯硅和锗晶体的保护气体；可用作系统清洗、屏蔽和增压用的惰性气体；在化学气相堆积、溅射和退火等工艺中有所应用。高纯***也可作为色谱载气.***被广泛用来充填弧光灯、荧光灯和电子管；焊接保护气；在钛、钴和其他活性金属的出产中用作屏蔽气；在黑色冶金中用于吹炼特种钢。