电子气体污染控制要求日趋严格随着电子消费品的升级换代，产品制造尺寸越来越大，产品良率和缺陷控制越来越严格，整个电子工业界对电子气体气源纯度，以及杜绝输送系统二次污染的要求越来越苛刻。基本上工业界对电子气体气相不纯物以及颗粒度污染提出的技术指标，直接与分析仪器技术进步带来的较低检测极限（直接关联。如传统的激光颗粒测试仪可测到微米，而核凝结技术可达到微米。目前超大规模集成电路制造线宽已经发展到纳米，对于大宗气体的纯度都要求在级别，颗粒度控制直指分析仪器的下限。实验室超高亮度技术指标已达到以上，对于氢气和氨气的纯度控制要求也都小于氨气则釆用多级精馏生产技术指标到达的白氨的氢气需要采用***的钯膜纯化器提纯至。

混合气体用途详述：

用于化学检验。美国材料试验学会将气体混合物用作保护气氛。 用于冶金，氢-氮气可用于热处理 用于泄漏探测。低百分含量的碳氟化合物，例如碳氢化合物-12或氦与空气或氮气的混合物，都可用于探测泄漏。 用于触媒添加剂，氮氧化合物和氮气的混合物都可用来作触媒添加剂。

用于照明。包括氦、氮或***在内的稀有气体混合物可用来供灯具、标志、电子管和其他装置使用。 放设性其他混合物的使用：***-85， 碳-14通常可以微量加入到各种气体中。

工业气体的***性：

燃烧性，可燃气体在燃烧时一旦泄漏燃爆，后果是相当严重的。液化气体的特点是沸点低，极易气化，因而突然泄压时造成的闪蒸（即瞬间的迅速气化）是一般气体所没有的特殊现象。一般情况下，闪蒸量约为泄漏量的20%—30%，已蒸发气体自然地向大气扩散。这种闪蒸现象对于可燃的液化气体来说特别***，因为迅速蒸发使气体来不及扩散而滞留在一定的空间范围与空气混合形成了燃爆性气体，这就是意味着已具备发生燃爆的先决条件。通常比空气轻的气体在接近地面的大气中垂直扩散大于水平扩散；而比空气重的气体在大气中则容易沉降，因而主要是水平扩散。水平扩散的结果会使气体在风向下沿地面大范围的空间里扩散；那后果是不堪设想的。燃烧是一种同时伴有发光、发热的激烈的氧化反应。燃烧必须同时具备可燃烧、助燃物、导致燃烧的能源这三个条件，缺少其中任何一个条件燃烧便不能发生。空气本身就是一种助燃的氧化剂，这一条件随时随地都将存在。可燃物就是可燃气体本身。关键的问题是要控制好点火源和防止气瓶中可燃气体的泄漏。

燃爆性，物质从一种状态迅速转变成另一种状态，并在瞬间放出大量能量，同时产生巨大声响的现象，称为燃爆。燃爆可分为物理性燃爆和化学性燃爆。可燃气体的***特性主要是指化学性燃爆，即由于气体发生极迅速的化学反应而产生高温、高压所引起的燃爆。对于盛装的化学性质非常活泼的气体钢瓶需要特别注意，因为这些介质具有非常***的燃爆性。凡有热和光一齐放出的氧化反应称为燃烧。氧化不能仅仅理解为氧气与其它物质的化合，它也指物质与氧的化合。瓶装气体中“氧气瓶禁油”的道理是大家所熟悉的。氧气和绿气都是强烈的氧化剂，应避免与脂类等有机物接触。氧和氯都是化学性质活泼的气体，遇脂、胺、醇等多种有机物会发生强烈的化学反应而引起燃烧。