什么是电子气体

电子气体是超大规模集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产不可缺少的原材料，它们广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。例如在目前工艺技术较为***的超大规模集成电路工厂的晶圆片制造过程中，全部工艺步骤超过道，其中大约要使用种不同种类的电子气体。

电子气体输送系统是指为满足工艺制程的需求，在充分保证工艺和产品安全使用的前提下，将电子气体从气源端无二次污染、控制工艺需求的流量和压力等参数、稳定地输送到工艺生产设备的用气点。根据气体性质和供应包装的不同。

氮气纯度影响因素

回流比的影响精馏产品纯度在一定条件下取决于回流比大小。回流比是指塔内下流液氮量与上升富氧蒸汽量之比。回流比大时,即下流液氮多或者上升的富氧蒸汽少,气液混合温度必然偏于低温液氮一边,于是上升蒸气的温降就大,富氧蒸气冷凝的就多,离开塔板氮浓度提高的就快,在塔顶得到气体含氮气纯度就高。

所以在生产中要尽量增大回流比。精馏工况异常在精馏塔发生液泛或液漏等情况时,***了精馏塔的正常精馏工况,造成纯度下降。液泛现象如果塔板上液体难以沿溢流斗流下,造成溢流斗内液面越涨越高。直至与塔板上的液面相平,液体无法下流,就叫液泛或液悬。

二氧化碳的潜在***

高容许浓度：5000ppm(9000mg/m3)人吸入二氧化碳仍以原形从呼气中排出。在空气中大约有0.03%(~300ppm)的二氧化碳，此时，根据生物体正常的物质代谢，在肺泡中含有6%的二氧化碳。但是环境中的二氧化碳浓度增加，肺泡内的浓度也增加，从而，血液中二氧化碳浓度增加，使血液的pH值发生变化。这种变化刺激呼吸***，条件反射地放出过剩的二氧化碳，因此呼吸自然变激。长时间吸入高浓度的二氧化碳，将引起代谢障碍，特别是因***的沉滞而逐渐陷入沉睡。

当空气中的二氧化碳浓度超过3%时出现呼吸困难、眩晕、呕吐等症状；浓度超过10%时，可引起视力障碍、痉挛、呼吸加快、血压升高、意识丧失等；浓度超过25%时，能出现***的***、昏睡、痉挛以及窒息死。