高纯气体配管及附件材质的选择

选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。目前超大规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管（SS304BA、SS316BA）、不锈钢电抛光管（SS316L-EP）等，但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10－6及以下的管材应用SS316L-EP管。

注：①管路型式以气体特性设计，惰性气体使用一般的单层管，作为制程用的反应气体，则选用SS316L-EP管；使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用SS316L-BA管。

②对于自燃燃爆，有剧度的特种气体，如SiH4、PH3、AsH3等则考虑使用双套管，它的内/外管材质一般为SS316L-EP/SS316L-AP，此设计的主要目的有两点，尾气标准气体生产厂家，首先可保护内管直接受到外力撞击，其次能将由内管渗漏的气体阻绝于外管，并利用相关的检测设备检测，目前常用的设计有正压和负压两种方式，负压设计是将内外管间抽成真空，正压设计则是灌以氮气维持正压，两者皆可接上压力表或者压力警报器检知泄漏状态。

氧气瓶的安全使用应遵守的规则

为保障氧气瓶的使用安全，***先后颁布了《气瓶安全监察规程》《气体气瓶充装规定》等***和标准，对氧气瓶的设计、制造、检验、充装和使用等都做了科学和明确的规定。

1、使用的氧气瓶必须是***定点厂家生产的。新瓶必须有合格证和锅炉压力容器安全部门出具的检验证书。

2、氧气瓶必须按规定定期检验。超期的气瓶严禁充装。

3、氧气瓶禁止与油脂接触。操作者不能穿有油污过多的工作服，不能用手、油手套和油工具接触氧气瓶及其附件。

高纯气体管路的设计要点：

管路中应减少不流动气体的“死空间”，不应设有盲管，在特种气体的储气瓶与用气设备之间应设吹扫控制装置、多阀门控制装置、用以控制各个阀门的开关顺序、系统吹除，以确保供气系统的安全、可靠运行和防止“死区”形成而滞留污染物，降低气体纯度。

对高纯气体纯度要求不同的用气设备，宜采用分等级高纯气体输送系统；也可采用同等级输送系统，杭州标准气体厂家，但是在纯度要求高的用气设备邻近处设末端气体提纯装置。

为了检测高纯气体的纯度和杂质含量，标准气体厂家电话，输送系统除了设置必要的连续检测仪器，汽车尾气标准气体厂家，如衡量水含量或者氧杂质含量等分析仪外，还应设置定期取样用的检测采样口，以便按规定时间进行采样，分析高纯气体中各种杂质的含量。



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