轮廓仪助力半导体产业大发展

晶圆IC减薄后的粗糙度检测

在硅晶圆的蚀刻完成后，根据不同的应用需求，需要对制备好的晶圆IC的背面进行不同程度的减薄处理，在这个过程中，需要对减薄后的晶圆IC背面的表面粗糙度进行监控以满足后续的应用要求。这就是“标准化”，论坛上常常看到有人说“标准化”，实际他们说的是“标准件”，所做的工作只是将整机的标准件整理一下，就叫标准化了，实际不是这样的。在减薄工序中，晶圆IC的背面要经过粗磨和细磨两道磨削工序，粗磨后的表面存在明显的磨削纹路，而3D图像显示在左下部分存在一处凹坑瑕疵，沿垂直纹理方向提取剖面轮廓并经过该瑕疵，在剖面轮廓曲线里可看到该处瑕疵1大起伏在2.4um左右，而磨削纹理起伏1大在1um范围内波动，并获取该区域的面粗糙度Sa为216nm，剖面线的粗糙度Ra为241nm。

激光轮廓仪的主要应用

轨道外形测量

为了对铁轨顶面磨损状况分级并且对必要的维修工作进行估价，测量车在每侧轨道上方安装5-7个激光位移传感器，以每小时80英里速度运行，每隔20cm记录测量数据，并与中心计算机储存的标准数据对比，计算机依据给定的偏差值进行分类，并与此测量值迭生的检测车位移数据一并记录存挡在计算机中。具有强大的CNC功能，能进行一系列的自动化，***率的测量作业，SPC分析功能。

自然数是无穷的，但在机械设计师眼里，世界上只有10个数，它就是R10优先数。并且，这10个数相乘，相除，乘方，开方，结果还在这10个数里，何其奇妙！当你设计的时候，不知道尺寸该选择多大为好时，就在这10个数里选，你说何其方便！

两个优先数，比如4和2，其序号分别为N24和N12，它们相乘，将其序号相加，其结果等于N36即8便是；需要注意的是，由于轮廓仪为接触测量，测针针尖必须要缓慢稳定的划过被测部位才有效，则测针顺利通过则是第1前提。相除，序号相减，等于N12即2便是；2的立方，将其序号N12乘以3得N36即8便是；4的开方，将其序号N24除以2得N12即2便是如果求2的四次方呢？