激光干涉仪的测量读数***终均与激光波长有关，因此激光器频率的准确性和稳定性是激光干涉仪测量精度的保障。此外，激光干涉仪的环境条件补偿系统(压力、温湿度传感器)的读数准确性对***终的测量精度有着重要的影响。总结起来，影响激光干涉仪测量精度的因素包括：

1.激光器频率(波长)及频率稳定性;

2.测量读数软件系统带来的误差;

3.反射镜、角锥棱角误差;

4.温湿度、压力传感器误差;

当然，在具体测量任务中的测量精度还与测量人员、现场环境条件等因素有关。

激光干涉仪可以一机两用（干涉仪和自准直仪），同时一次安装可以测量(***精度、xx及yy方向的直线度、俯仰角、偏摆角及滚动角）5-6个参数。API激光干涉仪在不影响仪器使用精度和功能的情况下，对传统激光干涉仪繁琐的光路调整与复杂众多的附件进行了改变。先后开发了LMS和XD型激光干涉仪，该仪器的结构紧凑，光路调整方便（可直接安装在机床工作台或导轨上），双频激光干涉仪多少钱，仪器体积小、重量轻、更便携。尤其是XD型干涉仪，它改变了LMS型数字传送线的困扰，全程测量实现无线通讯功能。采用干涉镜和控制箱与激光头集成一体的设计理念，设计时充分考虑了系统稳定性，具有同类仪器所无法比拟的***性、高便携性及多功能的特点。

激光干涉仪组件

　　要测量线性轴的***精度、重复***精度和反向间隙等数据，需要使用激光测量系统的以下组件，主要有：XL 激光头、三脚架和云台、XC 环境补偿单元、空气温度传感器和材料温度传感器、线性测量光学镜组、光学镜安装组件及安装激光测量软件的计算机。

激光干涉仪影响因素

环境因素的影响

1.影响因素

　　下面所列任何一种环境参数的变化都会导致大约1μm的误差:

(1)空气温度:1℃

(2)空气压力:0.3kPa

(3)相对湿度:30%

　　特别是振动对测量的影响是非常大的，振动可能导致测量数据的分散，明显影响重复性的测量。甚至可能使测量无法正常进行下去。

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