氦质谱检漏仪

广泛应用电厂汽轮机管路及冷凝器检漏，亦应用于真空焊接炉、真空渗碳炉等热处理炉检漏和高压真空断路器检漏，及汽车工业检漏、燃料电池检漏和消防器材检漏等多种真空检漏领域。另外半导体行业， 灯具制造行业， 制冷、空调行业， 镀膜行业也有氦质谱检漏仪的应用。进口起动压力高达 25 mbar，进气口处对氦气的抽速达 2.5 l/s ，可检测漏率：真空模式：5X10-12 mbar l/s (5X10-13 pa m3/s)；

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按检漏仪上的“开始”按键，检漏仪开始对气瓶夹层进行抽空。达到检测条件后，用喷枪将分别在气瓶内胆和外胆喷吹氦气，如产品存在泄漏，氦气会进入到夹层内部，进而被抽入检漏仪内，而被检测到，超过设定报警值，电厂氦质谱检漏仪维修，检漏仪会显示漏率并发出声光报警，提示不合格。

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氢气有些性能（如质量小、易通过漏孔）比氦还好，然而由于氢一方面有***，另一方面在油扩散泵中，由于油受热裂解会产生大量的碳和氢，使氢本底极高且波动大，以致灵敏度大大降低，氦质谱检漏仪，所以很少采用。氦气是一种无色、无味的隋性气体。相对分子质量为4.003，分子直径为2.18×10-10m，

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