氦质谱检漏仪
按检漏仪上的“开始”按键,检漏仪开始对气瓶夹层进行抽空。达到检测条件后,用喷枪将分别在气瓶内胆和外胆喷吹氦气,如产品存在泄漏,氦气会进入到夹层内部,进而被抽入检漏仪内,而被检测到,超过设定报警值,检漏仪会显示漏率并发出声光报警,提示不合格。
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支持正压检漏,负压检漏
自动跟踪本底,提供快速可靠的测量结果
优化设计的质谱系统和智能算法确保在所有量程快速响应
高可靠性的真空系统和质谱系统确保快速清氦
支持氮气破空,不受环境氦气干扰,快速降低本底
机器的性能支持7*24小时长时间在线测试
氦质谱检漏仪逆扩散原理
电子元器件进密性检测时常用背压法。检漏前用专用加压容器向被检件压入氦气(由压力和时间控制压入的量),然后取出被检件,吹去表面吸附氦后放入专用检漏罐中,再将检漏罐联接到检漏仪的检漏口上,对检漏罐抽真空,实施检漏。若器件有漏,则通过该漏孔压人的氦气又释放出来进入检漏罐,终到达质谱管。用这种方法测得的漏率也是总漏率
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