氦质谱检漏仪

因此所有的真空部件在出厂时都要测试泄漏率指标。通常情况下，真空部件的泄漏检测都是应用氦质谱检漏，检漏时构造一个临时的密闭空间，利用氦质谱检漏仪抽空后喷氦查找漏点（泄漏指标异常处）。氦质谱检漏仪操作简单，响应快，精度高，将真空波纹管一端连接到氦质谱检漏仪的检漏口上，另一端连接到气瓶夹层

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机器的性能支持几秒一次的高频率测试

配有检漏口精细过滤器，过滤细微杂质，确保机器不受杂质影响和损伤

双铱丝离子源，有效的系统设计，防大气冲击

支持定制检漏工作台，更加便捷使用

可检漏率（负压模式） 5×10-13Pa?m3/s

可检漏率（正压模式） 1×10-8Pa?m3/s

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氦在空气中及真空系统残余气体中的含量（在空气中约含5.2ppm），在材料出气中也很少，因此本底压力小，输出的本底电流也小。正因为本底小，由某些原因引起本底的波动，亦即本底噪声也就小，因此微小漏率也就能反应出来，灵敏度高。氦的质量小（相对分子质量为4），易于穿过漏孔。