氦质谱检漏仪

设备是产生、改善并维持真空的装置，包括真空应用设备及真空获得设备。真空系统设备的真空系统是核心，主要由真空获得、真空测量、真空腔体（或容器）以及控制辅助等部件（如真空阀门、管道等）。其在使用过程中如果真空度达不到或者达到真空度速度慢都会影响企业的生产效

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氦质谱检漏仪逆扩散原理

被检件充入高于大气压的探索气氦，检漏仪的检漏口连接称之为吸枪的气体。当试件有漏时，泄漏的氦气被吸枪吸入检漏仪，而被检测。吸枪在试件表面移动，同时注视氦质谱检漏仪漏率指示的变化，一旦泄漏增加，吸枪所指位置即漏点所在。因此吸枪法也是能确定漏孔的检漏方法。

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降低了对分析器制造精度的要求，易于加工。同时，分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大，使更多的氦离子通过，提高了仪器灵敏度。氦在被检件及真空系统中不易被吸附。这样检出一个漏孔可以使氦信号迅速消失以便继续进行检漏，提高了仪器的检漏效率。

氦质谱检漏仪系统的氦质谱检漏仪关键部件均为进口，性能稳定可靠。不仅灵敏度高，而且操作方便，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。 此检测方法使用的示踪气体选择了氦气，氦气具有质量数小、重量轻并且有渗透能力强的优点，达到了细检漏的目的。