氦质谱检漏仪

机器的性能支持几秒一次的高频率测试

配有检漏口精细过滤器，过滤细微杂质，确保机器不受杂质影响和损伤

双铱丝离子源，有效的系统设计，防大气冲击

支持定制检漏工作台，更加便捷使用

可检漏率（负压模式） 5×10-13Pa?m3/s

可检漏率（正压模式） 1×10-8Pa?m3/s

以上内容由中科鼎新公司为您提供，希望对同行业的朋友有所帮助。

氦质谱检漏仪逆扩散原理

将被检件与仪器检漏口联接抽真空，在被检件外面罩以充满氦气的容器，如被检件有漏孔，氦气便由漏孔进入被检件，终达到质谱管被检测。所测漏率是被检件的总漏率，不能确定有几个泄漏点和每个漏点的准确位置。可以看出钟罩法是基于喷吹法的一种检漏方法。

对子漏气速率和放气速率较大或者体积较大的被检件，若直接与检漏仪相连，氦质谱检漏仪的真空度可能抽不上去，使氦质谱检漏仪无法工作。此种情况须加接辅助真空系统，提高对被检件的抽速。的辅助真空系统只需一个机械泵和两个阀门，复杂的系统可由前级泵、次级泵、阀门、真空规及标准漏孔等组成。次级泵可用扩散系或罗茨泵，前级系气镇式机械泵。