水环真空泵在半导体行业中使用

半导体工艺真空主要用在蒸发，溅射，PECVD，真空干法刻蚀， 真空吸附，测试设备，真空清扫等等键合工序，半导体生产制造过程中容易产生以及***的物质气体，会对生产及人员安全造成威胁，因此，半导体水环真空泵应用时需要注意的几个安全事项：　　1、定期清洗真空泵及其他附件、过滤、管道，液环泵结构，避免超压：

半导体真空泵应用时，抽取介质过程中经过反应室与真空泵，其成分可能极为复杂，如SiH4与O2在泵口形成SiO2，TiCl4水解会形成HCl；假设是油封式机械泵，这些气体物质还可能与泵油发生化反。这些变化假设形成颗粒、可凝物或者腐蚀性介质，就可能堵塞真空泵或管路系统，影响真空泵性能，造成压力上升或超压，一点中提到的***性也更大。所以需要及时的清洗，并在必要的时候设置过滤设备。。

水环真空泵轴的损坏及修理

水环真空泵是由叶轮、泵体、轴的构成，液环泵工作原理，不过长时间的使用难免会对组件造成伤害，其中泵轴的损坏非常大，为了能够正常使用，下面就给大家介绍一下设备的泵轴损坏修理的方法：　

　1、表面光洁度不能偏低，尤其在轴容易折断的地方更要注意。　

　2、使用补焊后的泵轴时，要经常注意补焊区的变化，以免发生事故。　

　3、在使用中，经常出现的故障是泵轴的折断，特别是较大气量的泵。　

　4、设计时要避免截面突变过大，过渡处不应用尖角而应用圆角进行连接。　

　5、由于袖的刚度不够，加之叶轮有较大的不平衡，运行时产生变形所致泵轴弯曲。　

　6、在单用零件损坏中，轴的损坏占有很大的比例。泵轴的损坏包括弯曲、出现裂纹和折断。　

　7、折断面一般都垂直于轴心线，十分整齐象刀切一样，整个断面大部分光滑并呈金属光泽，小部分较粗糙。　

　8、导致疲劳***的主要原因是，由于泵轴在运转过程中，泵腔内气体对泵轴的作用力所引起，这个作用力又叫径向力。　

　9、泵轴出现疲劳裂纹应及时予以更换，如果由于客观因素暂时无法更换而需继续使用时，临时的补救办法是对裂纹进行补焊。　　

10、泵轴的裂坟和折断的部位，往往发生于局部应力集中的地方，比如键槽边缘处、直径突变处等，损坏的原因往往由于振动促使疲劳***。　

　11、加工时不同轴径过渡处的圆周加工要保证质量，因此我们要严格按图纸要求的尺寸和光洁度进行，泵轴表面和过渡处决不可有刀痕，划伤、碰伤等瑕疵。　

　水环真空泵的泵轴在整个设备中起到至关重要的作用，因此我们在使用中会发生很多问题，发生问题没有关系只要及时处理就可以了，另外在平时我们要注意并及时***维修，避免发生事故。

四、发动机工作时　　1、连杆轴颈所受的综合作用力始终作用在连杆轴颈的内侧，方向沿曲轴半径向外，造成连杆轴颈内侧磨损很大，形成椭圆形。　　2、锥形磨损是由于通向连杆轴颈的油道是倾斜的，液环泵，当泵回转时在离心力的作用下，润滑油中的机械杂质偏积在连杆轴颈的一侧，加速了该侧轴颈的磨损，液环真空泵，使连杆轴颈的磨损呈锥形。　　2sk水环式真空泵发生磨损还有一个重要的原因，就是我们日常在使用过程中缺少它的***和检修，只要在***以后做好***和维护工作就可以了，就会减少设备问题的发生。

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