2bea水环式真空泵结构及特点:
2BEA系列水环真空泵及压缩机是我公司在长期科研的基础上,2BEA系列水环真空泵,自带气水分离器,雕刻机水循环真空泵配件,设有多位置进排气口,泵盖上增设了排气阀检修窗盖,装配和维修更加方便。
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水环式真空泵是一种要通过与汽水分离器来搭配使用的粗真空泵,当我们在进行汽水分离器进行安装的时候要掌握正确的安装方法,下面就给大家介绍一下设备的汽水分离器的安装方法: 一、泵与汽水分离器的管路安装 1、抽真空时需排至室外,则可将分离器的排气口通过管路引到室外,水循环式真空泵,如不设排气管路,水循环真空泵,气体则由分离器上的排气口直接排至大气。 2、泵的排气管应与汽水分离器进撖这相连,当作压缩机使用时,汽水分离器的排气管应和使用压缩空气的系统相连接。 3、在泵的进气管路上,要安装阀门进行控制,以便在停车时,防止泵内工作液因系统的真空吸力,回流到系统。 4、作为压缩机使用时,水循环式真空泵化工,若排气管路存在压力,那么在汽水分离器的排气管路上也应安装阀门。
2、合理稀释液***气体的浓度值:半导体易造成前边常说的、***的***气体。因此半导体水环真空泵运用中在抽取这种介质时就务必避免他们在真空泵内或是排气管全过程中产生一些不可控性的反映。例如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等化学物质,在与气体或氧触碰的情况下,会造成点燃乃至;氡气在空气中的混和占比做到一定水平与温度时也会产生点燃。这种都在于该物质的量及其与自然环境的工作压力、温度的关联。因而半导体真空泵在抽取这种介质时,必须用N2这类的稀有气体,在缩小前将要这种汽体稀释液到那时候标准下的安全性范畴。3、留意co2的浓度值:
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