水环真空泵在半导体行业中使用

半导体工艺真空主要用在蒸发，溅射，PECVD，真空干法刻蚀，2BY不锈钢真空泵选型， 真空吸附，测试设备，真空清扫等等键合工序，半导体生产制造过程中容易产生以及***的物质气体，会对生产及人员安全造成威胁，因此，半导体水环真空泵应用时需要注意的几个安全事项：　　1、定期清洗真空泵及其他附件、过滤、管道，避免超压：

半导体真空泵应用时，抽取介质过程中经过反应室与真空泵，其成分可能极为复杂，如SiH4与O2在泵口形成SiO2，TiCl4水解会形成HCl；假设是油封式机械泵，这些气体物质还可能与泵油发生化反。这些变化假设形成颗粒、可凝物或者腐蚀性介质，就可能堵塞真空泵或管路系统，不锈钢真空泵，影响真空泵性能，造成压力上升或超压，一点中提到的***性也更大。所以需要及时的清洗，2BY不锈钢真空泵参数，并在必要的时候设置过滤设备。。

防止水环真空泵电机超电流检查方法不锈钢真空泵

防止水环真空泵电机超电流检查方法

环真空泵电机常常超电流，并且发生过烧坏的情况。电机配置是2BE1-202配置的30KW的电机，皮带链接。水环真空泵排口没有压力。工作液是水，所抽介质和水混合后也不粘稠。这是什么原因呢。　

　从可以了解水环真空泵排气口没有上置汽液分离器，排气管路垂直高度过高，于是打电话和客户确认，客户告诉我他们的水环真空泵排气口高出排气口1.5米后才接入侧置汽液分离器。一般情况水环真空泵的工作液是和气体一起排出到上置汽液分离中，通过上置汽液分离器进液分离后再把工作液排走。这样设计的原因是把工作液和气体分离开，保证水环真空泵排气口没有压力。但客户这种安装方式因没有上置汽液分离器进行汽液分离，也就是说在排气口法兰以上有1.5米的排气管中有工作液无法及时排走。　　这些工作液会对真空泵排口形成排气及反冲击，不仅会对电机造成损害，对真空泵的叶轮也会形成损害，长时间这样使用，叶轮也会断裂。在没有上置汽液分离器的情况下，要降低排气口垂直管路的高度，才能保证水环真空泵正常运行。

水环式真空泵的功率三种表示方法

水环式真空泵是专门用来抽放井下沼气的设备，它的能获得的极限真空受制于结构和工作环境，2BY不锈钢真空泵厂家，这都是因为它有三种功率，下面就给大家介绍一下它的功率三种表示方法：　　1、单位气量消耗功率表示法：　　采用单位气量消耗功率表示水环式真空泵的能效时。　　2、单位功率抽气量表示：　　采用单位功率的抽气量表示泵的能效时。　　3、效率值表示法：　　一般情况下经过压缩，气体从入口到出口的温升为2~5度，它还是用百分比来表示气体等温压缩功率占总消耗功率的比值，所以抽送气体的过程可认为是等温压缩过程。　　水环式真空泵它目前的功率有三种表达方式，一个设备的功率对一个设备质量也是有这联系的，因为它的应用范围不同，功率大小也不同，大家在选择的之前可以通过公式来计算自己需要的设备再去选购。

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