适用于真空干燥、真空浸渍、化工、玻璃树脂以及其它真空作业。它可单独使用，也可作为增

压泵、扩散泵的前级泵使用，但不适用于自一容器抽至另一容器作输送泵用。当抽除含氧过高的、有性

的、对黑色金属有腐蚀性的、对真空油起化学反应的有水的、有灰埃的等等气体时，应加附设装置。

真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

4

、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要

求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。

如钛升华泵有很高的抽速，但

不能抽氦，而三极型溅射离子泵，

（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对有一定的抽速，

两者组合起来，

便会使真空装置得到较好的真空度。

另外，

有的真空泵不能在大气压下工作，

需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。

5

、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、

分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油

污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。