确定工作真空范围

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首先必须检查确定每一种工艺要求的真空度。

因为每一种工艺都有其

适应的真空度范围，必须认真研究确定之。

确定极限真空度

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在确定了工艺要求的真空度的基础上检查真空泵系统的极限真空度，因为系统的极限真

空度决定了系统的工作真空度。一般来讲，系统的极限真空度比系统的工作真空度低

20%

，比前级泵的极限真空度低

50%

。