石英管在现在的市场上是很受到欢迎的，他可以广泛的应用于化学、电子纺织等各行各业方面，之所以适用范围广，是因为石英管的性能比较强，大口径石英管也属于石英管的一种，只不过是规格形态上发生的变化，适用于一些特定的场合。

石英管可以分为透明石英管、乳白石英管和红色石英管，石英管的性能同样在大口径石英管具备。热稳性好：大口径石英管热膨胀系数***，能够承受住温度的剧烈变化，不会因为其温差的突变而***；透光性能好：石英玻璃在整个波段都有较好的透光性能，透过率很高；电绝缘性性能好：石英玻璃的电阻值相当于普通玻璃的一万倍，是很好的电绝缘材料，即使在高温状态之下，也是具有良好的绝缘性能，这写特性在生活当中都有着很好的运用。

PECVD中用的石英管规格主要有两种：30*26*1130以及30*25*1130。 石英管在PECVD中的作用： 1) 石英管是硅材料，它界定了反应的范围，使反应均匀。做真空chamber用；石英管，结合前后盖板，提供了一个密封的反应腔。石英管是一个窗口的作用， 本身不产生等离子体，是微波源与铜波导管产生的。 2)干净，钠离子含量低； 为什么要定期更换石英管？ 定期更换石英管，也就是“擦窗户”的效果。用的时间长了，石英外壁会沉淀厚厚一层SiNx，影响石英管的激发效果，会影响均匀性和效率。不便于调节反应参数，所以要定期更换。

石英玻璃具有高度的化学稳定性，除***和热磷酸外，不仅在常温下，而且在高温下也耐各种酸、王水、中性盐、硫和碳的侵蚀，化学稳定性比镍铬合金和陶瓷大150倍，是好的耐酸材料。 石英玻璃属酸性物质，在耐碱性与乃耐碱性盐方面比较差，能与此类型***生成可溶性硅酸盐，故不适用于制造强碱性反应的仪器。在800℃以下，除PbO以外，石英玻璃实际上不受金属氧化物侵蚀； 800℃以上与ZnO、R2O(R表示碱金属)起反应； 900℃以上与BaO、MgO、Fe2O3起反应。1000℃以上与AI2O3、CaO起反应。熔融金属对石英玻璃的侵蚀性是不同的，石英板哪家好，对Ag、Au、Cd、Hg、Pt、Mo、Sn、W、Zn 耐侵蚀，与Ca在600℃以上起反应，与Al、Le、Mg在800oC以上起反应，而与Li在250℃以上即起反应。

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