光学石英玻璃特性

01）远紫外光学石英玻璃（JGS1），含有大量的羟基（2000ppm），具有优良的透紫外性能，特别是在短波紫外区，其透过性能远远地胜过所有其他玻璃，在185μm处的透过率可达90％，合成石英玻璃在2730nm处具有很强的吸收峰，无颗粒结构。是185—2500mμ波段范围内的优良光学材料。

2）紫外光学石英玻璃（JGS2），含有几十ppm的金属杂质。在2730nm处有吸收峰（羟基含量100-200ppm），有条纹和颗粒结构。它是透过220—2500μm波段范围内的良好材料。

3）红外光学石英玻璃(JGS3)含有几十ppm的金属杂质。有小气泡，颗粒结构和条纹，几乎不含（OH），具有较高的透红外性能，透过率高达85％以上，其应用波段范围260—3500μm的光学材料。

大口径石英管作为石英管的一种，使用的十分的广泛，对于大口径石英管我们平时在使用之于也要记得经常的去养护，首先我们先来了解一下石英吧！石英是一种无机矿物质，主要成分是二氧化硅，常含有少量杂质成分如Al2O3、CaO、MgO等，为半透明或不透明的晶体，一般乳白色，质地坚硬。石英在众多石材中，石英是主要的装饰材料之一。

PECVD中用的石英管规格主要有两种：30*26*1130以及30*25*1130。 石英管在PECVD中的作用： 1) 石英管是硅材料，它界定了反应的范围，使反应均匀。做真空chamber用；石英管，结合前后盖板，提供了一个密封的反应腔。石英管是一个窗口的作用， 本身不产生等离子体，是微波源与铜波导管产生的。 2)干净，优质石英源瓶，钠离子含量低； 为什么要定期更换石英管？ 定期更换石英管，也就是“擦窗户”的效果。用的时间长了，石英外壁会沉淀厚厚一层SiNx，影响石英管的激发效果，会影响均匀性和效率。不便于调节反应参数，所以要定期更换。

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