半导体芯片退火

半导体芯片在经过离子注入以后就需要退火。因为往半导体中注入杂质离子时，高能量的入射离子会与半导体晶格上的原子碰撞，使一些晶格原子发生位移，结果造成大量的空位，将使得注入区中的原子排列混乱或者变成为非晶区，所以在离子注入以后必须把半导体放在一定的温度下进行退火，以***晶体的结构和消除缺陷。同时，退火还有施主和受主杂质的功能，即把有些处于间隙位置的杂质原子通过退火而让它们进入替代位置。退火的温度一般为200~800C，比热扩散掺杂的温度要低得多。

316(0Cr17Ni12Mo2)不锈钢零件热处理工艺

　　要达到的目的：

　　1，减小材料的弹性滞后和弹性后效，使得材料在升温（升压）和降温）过程中形变状态趋于稳定；即就是在每一次升温（升压）过程的每个点，应变值能达到稳定，降温（时也是如此。能保证升、）时每个点应变值都是一致的。

　　2，消除机械加工和热处理过程中所产生的应力； 工艺过程（参考下图）

　　如果先在真空炉中高温1010～1150℃环境下，齿轮架热处理，保温3min进行固溶处理，进行奥氏体晶粒细化，之后，胶南热处理，在430℃～480℃环境中保温1.5h进行回火处理。

退火的一个***主要工艺参数是加热温度（退火温度），传动套热处理，大多数合金的退火加热温度的选择是以该合金系的相图为基础的，如碳素钢以铁碳平衡图为基础（图1）。各种钢(包括碳素钢及合金钢)的退火温度，视具体退火目的的不同而在各该钢种的Ac3以上、Ac1以上或以下的某一温度。

青岛万利鑫热处理有限公司是一家***从事金属热处理加工的企业，公司拥有一整套完整、严格的热处理加工、质量检测流程。公司已经通过TS16949质量体系认证及环境管理体系认证。公司工厂位于交***利、工业发达的青岛市城阳区，厂房面积3000余平方米。
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