光刻机的工作原理是在硅片上涂上一层均匀的光刻胶,这种胶状物,只能被光腐蚀,而不能被化学物质腐蚀,然后利用紫外线照在上面,其中还包含了编码,用光把不需要的地方腐蚀掉,用光刻技术制作出自己需要的图形。蚀刻机被用来在光刻机“复印”到晶圆的电路轮廓上进行雕刻,蚀刻出“山地和沟壑”,形成栅极,也就是常说的晶体管。便于大家理解,简单来说,光刻机是在一块木头上作了一幅画,而蚀刻机就是根据光刻机的画雕刻出3D的作品。但实际上过程并不是我们形容的那么简单。目前我国中微半导体在蚀刻机方面也是取得了重大成果。
自动型蚀刻机
产品规格:自动单双面蚀刻机
主要参数表明:
序号:7198474316
尺寸:2000×1120
×1000
mm
生产加工版块:≤宽60b250m(长短不限)
工作中方式:持续入料、两面自喷式
过滤方式:供液过滤 开料过滤
加热系统软件:钛金属防腐蚀加热
操作温度:38-五十度(自动加热)
蚀刻速率:无极变速
功
率:3.5kw/380V
自动控制系统:蚀刻电源开关、单双面蚀刻自动开关、自动温度控制、水准轮片传输(无极变速)
产品特点
1.激光蚀刻为干式蚀刻,加工制程简单,所有加工均由软件自动控制,产品一致性高,良率高达99%,无耗材,环保,可靠稳定。
2.CCD相机自动***,加工精度高。
3.设备操作简单,图档更新方便,制程缩短,稼动率高。
4.设备控制软件能够实现自动图档分割,移动拼接加工,拼接精度可达±3μm
5.耗电量省,操作人员少,无污染,生产成本低。
运用各种金属在蚀刻液中产生阳极分别的原理,在不锈钢、钛金板、金、银、铜、模具钢等金属上蚀刻图像和文字。
蚀刻技能介绍
蚀刻技能分为湿式蚀刻与干式蚀刻,湿式蚀刻为常用,运用特定的溶液与薄膜间所进行的化学反应来去除薄膜未被光阻掩盖的部分,而抵达蚀刻的目的,这种蚀刻方法也便是所谓的湿式蚀刻。
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