（一）、安装场所：

1、罗茨真空泵应安装在明亮少尘的建筑物内。

2、罗茨真空泵的安装环境温度为5–40℃。

3、罗茨真空泵周围须留充分的余地，便于日常检查，维护***，拆卸装配。

（二）、ZJ系列罗茨真空泵基础工程：

1、中小型泵可与前级泵等安装在同一机架上组成机组后再安装在混凝土基础上，大型泵必须单独安装，浇灌混凝土基础。

2、根据ZJ系列罗茨真空泵的重量和地基的耐压力确定混凝土基础的受压面积和深度。

3、为了在混凝土中埋进基础螺栓，混凝土基础灌浇时必须根据底基孔位置留出充分的空穴。

4、基础表面做水平。

济南诚泽机械有限公司***生产罗茨鼓风机，三叶罗茨鼓风机，高压双油箱水冷式风机，沼气增压泵，管道增压泵，真空泵的厂家，公司本着“质量优质，诚信为本”的指导方针，以过硬的产品质量，及时完善的***服务已在国内外市场占领一席之地。公司不仅有使您满意的销售，而且有令您放心的***服务，彻底追求产品质量和建立相应的***服务体系是我们一贯的方针，我们将总结经验、不断进取，研制出更新、更好的产品来满足用户的需求，用我们全位的服务，为您企业的发展作***有力的后盾。

消除故障编辑
一般故障
极限压力不高（1）管道、系统漏气。（2）泵部分漏气。（3）前极泵极限压力下降。4）润滑油太脏或牌号不符。（5）油封磨损。（6）溢流阀处漏气。
抽速不足（1）管道通导能力不够。（2）前级泵抽速下降。（3）溢流阀处漏气。
电动机过载（1）入口压力过高。（2）转子端面与端盖单面接触。（3）前级泵返油进泵腔。（4）溢流阀卡住，使出口过高。
过热（1）选择的前级泵抽速不够，造成压缩比过大。（2）入口压力过高。（3）冷却不良。（4）齿轮箱润滑油过高。（5）转子与泵壳接触（6）齿轮、轴承、油封润滑不良。
声音异常（1）装配不良。（2）导向齿轮与转子位置偏移使转子相碰。3）入门压力过高。（4）过载或润滑不良造成对齿轮的损伤。（5）轴承磨损。
轴承、齿轮
早期磨损严重（1）润滑油不良。（2）润滑油不足。

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真空腔室的模块化设计和加工

该设备属生产设备，主要功能包括：钛/锆磁控溅 射镀装饰膜，反应膜、复合膜。其它功能还包括：行星旋转基片台、负偏压辅助沉积、PLC HMI真空自动/手动控 制、水冷循环及断水保护系统，预留多个标准接口。真空腔室的模块化设计和加工。通过此项技术提高了腔室设计和加工效率，提高了重大部件的加工质量和互换性，缩短了整条线的交货周期。使用高性能旋转阴极和中频电源，大蒸发电流达到400A，大大提高生产效率及膜层性能；通过辅助5段供气，提高真空环境工艺气体分布均匀性，提高膜层质量；安装整体式模块化阴极屏蔽挡板，气冷罗茨真空泵厂家，大大减少维修时间，降低维修成本。阴极采用隔离冷却装置，改变以往阴极磁钢因工作在循环水中不断吸附杂质而影响磁场强度和寿命。新方法使磁钢工作在真空环境，大大提高了阴极稳定性和寿命。采用自主研发的倾斜式磁钢矩阵排列，扩大了阴极靶材表面气隙场范围，增大了靶材被刻蚀溅射的面积，提高靶材的利用率和均匀性。表面气隙场水平分量均匀性在±2%以内。使用自主研发的三维空间磁场测量分析系统，气冷罗茨真空泵价格，系统用于测量磁钢阵列的空间气隙场分布及磁钢安装、调整，为阴极研发提供有效的技术手段。触摸屏 PLC，可以实现电脑全自动控制，自动/手动随时切换。同时配备***的圆柱磁控溅射装置和***的电阻加热蒸发装置，将磁控溅射技术和加热蒸发技术的有效结合，使设备的适用范围更广，可得到多种不同性能的膜层；独特的双门（室）结构，使工件及镀料的装卸与镀膜可同时进行，大大提高工作效率。

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