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稳定性：稳定；

禁配物：强

避免接触的条件：受热；

聚合危害：不聚合；

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对水质要求高，要求水的电阻率≥18.0MΩ·cm。

高纯水是生产电子氟硼酸中不可缺少的原料,也是包装容器的清洗剂,其纯度将直接影响到电子级氟硼酸的产品质量。高纯水的主要控制指标是电阻率和固体颗粒,其他辅助指标有可氧化的总碳量(TOC)、***、被溶解的二氧化硅、离子浓度等。

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电子级氟硼酸质量指标

目前，因各微电子生产企业对电子级氟硼酸要求的标准不同，可将其划分为四个档次：①低档产品，用于gt;1.2μmIC工艺技术的制作；②中低档产品，适用于0.8～1.2μmIC工艺技术的制作；③产品，适用于0.2～0.6μmIC工艺技术的制作；④产品，适用于0.09～0.2μm和＜0.09μm IC工艺技术的制作。5%溶液用于电解抛光纯铝和从金属基体上除去焊药及电镀零件的再洗液。

产品包装方法：采用高密度聚乙烯专用密封工艺制造塑料桶25公斤桶装。

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