单工位喷淋清洗机包括底座、位于所述底座上方的上料箱、分别设于上料箱一侧的喷淋清洗装置和储液槽、用于夹紧待清洗的罐体的机械手、用于驱动机械手的驱动装置以及控制系统，其中，储液槽内设有撇油机构，顶部安装有重力油水分离装置，侧壁可活动的连接有集油盒，该单工位喷淋清洗机工作、操作和维修方便。

单工位喷淋清洗机。如图1所示，该单工位喷淋清洗机包括底座1、位于所述底座I上方的上料箱2、设于所述上料箱2—侧的喷淋清洗装置3、喷淋腔、储液槽4、用于夹紧待清洗的罐体的机械手、用于驱动所述机械手的驱动装置以及控制系统，其中，手动单工位旋转喷淋清洗机定做，所述储液槽4内设有循环过滤栗、撇油机构，石家庄手动单工位旋转喷淋清洗机，顶部安装有重力油水分离装置，侧壁可活动的连接有集油盒，使用时，喷洗过的清洗液先经过过滤篮过滤掉大颗粒，进入储液槽一侧，漂浮物经过重力油水分离装置再次清理，多余的清洗液从撇油机构溢流出去，循环过滤栗抽取清洗液经抽口过滤，栗出口经过滤栗入储液槽的另一侧，这样可以保证喷淋栗始终抽入洁净的清洗液。

此方法适用于除去氧化膜或有机物。因为化学物质在硅片表面停留的时间比较短，对反应需要一定时间的清洗效果不好。在喷洗过程中所使用的化学***很少，对控制成本及环境保护有利。

随着集成电路制程工艺节点越来越***，对实际制造的几个环节也提出了新要求，清洗环节的重要性日益凸显。

清洗的关键性则是由于随着特征尺寸的不断缩小，半导体对杂质含量越来越敏感，而半导体制造中不可避免会引入一些颗粒、有机物、金属和氧化物等污染物。为了减少杂质对芯片良率的影响，实际生产中不仅仅需要提高单次的清洗效率，还需要在几乎所有制程前后都频繁的进行清洗，清洗步骤约占整体步骤的33%。

清理工部

清理工部包含抛丸、打磨加工等工序。利用手提式砂轮机和其它工具在手工清理工作台上进行飞边毛刺处理，然后转运至抛丸机抛丸，抛丸后铸件进行自然时效放置一周后进行粗加工。

抛丸设备国产设备已经成熟，采用悬链步进式国产抛丸机，采用双抛丸工位，手动单工位旋转喷淋清洗机生产厂家，吊具按每个钩6件设计，上下双层，每层均布3件，吊挂位置为缸筒。为确保炉前操作人员的安全环保和职业健康，抛丸机配备防爆湿式除尘器，美国AFF品牌，采用两级除尘，一级惯性除尘，二级湿式除尘，按***环保要求排放。

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