喷淋清洗机由电子控制高压水泵储液箱组成，高压喷淋清洗机操作简单，故障少，原理是利用高压喷淋结合清洗剂的化学去污等作用，清洗后工件表面干净，顺势研发出单工位旋转喷淋清洗机。

现有的旋转喷淋清洗机在使用时存在着一定的问题，在使用旋转喷淋清洗机时操作门关闭较为复杂，密封性不好，由于旋转喷淋清洗机内部利用水源清洁，所以需要一定的密封性来放置内部水源的泄漏，以便减少清洁和工作难度，但现有旋转喷淋清洗机操作门在关闭时较为复杂，不仅操作难度较大，同时浪费了时间，降低了工作效率，同时会存在一些水源泄漏的情况，耽搁了工作进展，带来了经济损失的问题，为此我们提出单工位旋转喷淋清洗机。

单工位旋转喷淋清洗机

我们现在使用的清洗机IFU测试要求我们测试清洗机的每一层，而我们之前的测试只测试其中一层。按位置而言，中间层具有挑战，所以如果中间层测试合格在我看来就代表所有层都合格。我想听听您的意见，清洗机做清洗测试，单工位超声旋转喷淋清洗机，是否需要做清洗架的检测，是否需要检测每一层的性能？还是只需要检测其中一层？

答：要准确得评估一台清洗机的性能，一定要测试清洗机的每一层。清洗架是非常重要的设备，具有必须执行的可移动部件和结构。除顶层和底层外，清洗架每层都有喷淋臂。连接到舱体底部和顶部的喷淋臂为顶部和底部搁架提供水和机械清洁动作，其它架层的喷淋臂具有相同的功能。清洗架上还有与供水管线对齐的连接口。

旋转喷淋清洗机

·一键式操作，设备具有清洗、漂洗、风切、烘干整个过程全自动完成，无需人工干预；

·清洗批量大，可大量节省人工，清洗室装有可视化窗口，清洗室内装有照明灯泡，清洗过程一目了然；

·清洗后工件表面干燥，洁净度高，喷淋压力可调，720度喷淋，清洗无死角；

汽车旋转喷淋洗机电控系统：

PLC控制系统,人机界面；交流接触器、中间继电器等重要器件选用“正泰/施耐德”品牌。其他选取国内品牌；清洗时间可根据产品要求随意设定。

此方法适用于除去氧化膜或有机物。因为化学物质在硅片表面停留的时间比较短，对反应需要一定时间的清洗效果不好。在喷洗过程中所使用的化学***很少，对控制成本及环境保护有利。

随着集成电路制程工艺节点越来越***，对实际制造的几个环节也提出了新要求，清洗环节的重要性日益凸显。

清洗的关键性则是由于随着特征尺寸的不断缩小，半导体对杂质含量越来越敏感，而半导体制造中不可避免会引入一些颗粒、有机物、金属和氧化物等污染物。为了减少杂质对芯片良率的影响，实际生产中不仅仅需要提高单次的清洗效率，还需要在几乎所有制程前后都频繁的进行清洗，清洗步骤约占整体步骤的33%。