目前,国内石英坩埚生产企业生产中使用的生产设备及工艺技术全部源于上世纪70年代初锦州155厂从日本引进的生产设备及工艺技术,该项技术设备自动化程度不高,整个生产过程中更多的依靠人工来实现,现在国内新上的坩埚生产设备都已经往自动化发展。坩埚的发展还是很快的。
石英坩埚可在1450度以下使用,分透明和不透明两种。用电弧法制的半透明石英坩埚是拉制大直径单晶硅,试金坩埚生产厂家,发展大规模集成电路必不可少的基础材料。当今,世界半导体工业发达***已用此坩埚取代了小的透明石英坩埚。他具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。
坩埚产品使用须知
1、坩埚规格号即铜之容量(#/千克)
2、石墨坩埚谨防潮湿,存放时必须放在干燥处或木架上。
3、搬运时轻拿轻放,严禁摔震。
4、使用前需在干燥设备或炉旁热烘烤,温度逐升到500℃。
5、坩埚应放在炉口平面以下避免炉盖磨损坩埚上口。
6、加料时应根据坩埚溶量,不可加料太多,太紧避免膨胀坩埚。
7、出炉工具和坩夹要符合坩埚外形,夹其中部避免局部受力损坏坩埚。
8、清除坩埚内外壁溶渣和粘焦时应轻敲避免损坏坩埚。
坩埚的安装
一、 安装坩埚前,必须先检查炉膛内部:炉壁和炉底应该是完好无损,没有金属或炉渣附着。如果炉壁或炉底附着水泥或炉渣,试金坩埚,必须要进行清理。否则火焰的前进会受到阻碍而使火焰方向发生偏转,从而造成坩埚局部受热过度,在坩埚壁上发生氧化或产生小洞。
二、 坩埚的底部支撑:
1.安装坩埚时,坩埚的底部支撑必须使用足够大的且圆柱形底座,底座的直径至少要与坩埚的底部相同,试金坩埚供应商,略大2-3cm,且底座高度略高于出火口,从而防止火焰直接烧到坩埚底部。造成底部材料迅速被侵蚀,坩埚变成锥形,或由于坩埚底部受力不均而使坩埚开裂。
2.为防止坩埚与底座粘连,可以在坩埚与底座间放一层隔离物(如:细耐火砂或纸板。)
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