主泵：在真空系统中，用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵，如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。

　　(2)前级泵：用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。

　　(3)粗抽泵：从大气压下开始抽气，并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵，就是粗油泵。

　　(4)维持泵：在真空系统中，气量很小时，不能有效地利用前级泵。为此配置一种容量较小的辅助泵来维持主泵工作，此泵叫维持泵。如扩散泵出口处配一台小型旋片泵，就是维持泵。

关于水环真空泵设备中的气水别离器的装置：

气水别离器可直接装置在真空泵的排气口上面，之后也就要注意去用螺栓固定结实。气水别离器有一管路与泵相连，由此供应泵工作需水量，无油往复式真空泵，其他工作水由供水管供应，供水量大小由管路上的阀门调理；真空泵或者是紧缩机的进气管上应装有逆止阀，wlw型往复式真空泵，以便在停车时，避免真空泵或紧缩机内的水在排气管方面的压力作用下返回系统。

它的工作原理和一般容积泵相同，往复式真空泵选型，由定子、转子、旋片、缸体、电机等主要零件组成。带有旋片的转子，偏心地安装在定缸内，当转子高速旋转时，转子槽内四个径向滑动旋片将泵腔分隔成四个工作室，由于离心力作用，旋片紧贴在缸壁，把定子进排出口分离开来，周而复始运转，安徽往复式真空泵，进行变容，将吸入气体，从排气口排出，从而达到抽气目的。

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