电子制造业洁净室的特点:洁净度等级要求高,风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控,另外该类洁净室对静电要求极其严格。其中对湿度的要求尤甚。因为过于干燥的厂房内极易产生静电,造成CMOS集成损坏。一般来说,电子厂房的温度应控制在22°C左右,相对湿度控制在50-608之间(特殊洁净车间有相关温湿度规定)。这时可有效地去除静电,并使人也感觉舒适。芯片生产车间、集成电路无尘室和磁盘制造车间是属于电子制造行业洁净室的重要组成部分,由于电子产品在制造、生产过程中对室内空气环境和品质的要求极为严格,主要以控制微粒和浮尘为主要对象,同时还对其环境的温湿度、新鲜空气量、噪声等作出了严格的规定。1、电子制造厂万级洁净室内的噪声级(空态):不应大于65dB(A)。
4.流速控制洁净室内空气净化车间的流动既要有一定速度,才能防止其他因素(如热流)净化车间的扰乱,仅不能太大,流速太大将使室内积尘飞扬,造成污染。5.系统的气密性不仅通风系统本身要求气密性好,对建筑各部分结合处、水暖电工艺管道穿越围护结构处亦应堵严,防止渗漏。一般看得净化车间见的缝隙、裂缝均无法阻.止净化车间0.5um粒径的粉尘通过净化车间。
净化车间有不同的级别,百级,千级,万级,各级别车间的设计要求也是不同的,下面就来说说它们之间的区别吧。百级、千级、万级净化车间之间的区别在哪里呢?它是在于空气中各粒径档至大容许粒子浓度不一样。1、百级无尘车间0.5微米的至大容许粒子浓度小于3520(pc/m3),5微米的至大容许粒子浓度小于293(pc/m3)。2、千级无尘车间0.5微米的至大容许粒子浓度小于35200(pc/m3),5微米的至大容许粒子浓度小于2930(pc/m3)。3、万级无尘车间0.5微米的至大容许粒子浓度小于352000(pc/m3),5微米的至大容许粒子浓度小于29300(pc/m3)。