(2)保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。(3)电子制造行业洁净室净化空调系统加热器，应设置新风，超温断电保护，若采用点加湿时应设置无水保护，寒冷地区，新风系统应设置防冻保护措施。无尘室的送风量，应取下面三项至大值：保证电子制造厂无尘室空气洁净度等级的送风量；根据热，湿负荷计算确定电子厂洁净室的送风量；向电子制造厂洁净室给的新鲜空气量。


2、电子制造厂洁净室垂直流洁净室满布比不应小于60号，水平单向流洁净室不应小于40号，否则就是局部单向流了。3、电子制造厂洁净室与室外的静压差不应小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa。4、电子制造行业万级洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的至大值：(1)补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。


4.流速控制洁净室内空气净化车间的流动既要有一定速度，才能防止其他因素(如热流)净化车间的扰乱，仅不能太大，流速太大将使室内积尘飞扬，造成污染。5.系统的气密性不仅通风系统本身要求气密性好，对建筑各部分结合处、水暖电工艺管道穿越围护结构处亦应堵严，防止渗漏。一般看得净化车间见的缝隙、裂缝均无法阻.止净化车间0.5um粒径的粉尘通过净化车间。