当含尘的废气经过干式除尘过滤器时，在静电、范德华力、表面涨力的作用下，进行凝骤抱团，当其通过过滤器的过滤元件时，被过滤元件截留下来，而气态部分则通过过滤元件，从干式除尘过滤器排气口进入下一道工艺；

废气经由过滤器除尘后，先会进入等离子体UV光解装置中的UV紫外线光解区，紫外线的光子能量将污染物分子键裂解为呈游离状态的离子，且波长在200nm以下的短波长紫外线能分解O2 分子，生成的O*与O2 结合可生成臭氧O3；接着进入等离子体分解区，通过采用脉冲高压、高频等离子体电源和齿板放电装置，使其产生高强度、高浓度、高电能的活性自由基，在毫秒级的时间内，不锈钢预处理过滤器，瞬间对***废气分子进行氧化还原反应，将废气中的大部分污染物降解成二氧化碳和水及易处理物质。

废气经排气管首***入降膜回收器进行冷却降膜吸收生产酸，降膜回收器回收后的稀酸液体经排液管进入贮液箱回收， 没有被吸收的废气进入...吸收塔，...吸收塔回收后的稀酸液体进入本塔贮液箱，没有被吸收的尾气又进入二...吸收塔，二...吸收塔回收后的稀酸液体进入本塔贮液箱，没有被吸收的少量尾气进入真空泵，真空泵回收后的液体进入本体贮液箱，经真空泵吸收后的达标尾气经排气管排出。在本制酸反应过程中，生成的低浓度的稀酸溶液参与到酸循环反应中，用后道工序制成的稀酸溶液补充上道工序减少的循环液中去，浓度达到工艺要求后，预处理过滤器，集中存放。

喷淋吸收塔塔内填料层作为气液两相间接触构件的传质设备。填料塔底部装有填料支承板，污水预处理过滤器，填料以乱堆方式放置在支承板上。填料的上方安装填料压板，以防被上升气流吹动。喷淋液从塔顶经液体分布器喷淋到填料上，并沿填料表面流下。气体从塔底送入，超声波预处理过滤器，经气体分布装置分布后，与液体呈逆流连续通过填料层的空隙，在填料表面上，气液两相密切接触进行传质。 当液体沿填料层向下流动时，有时会出现壁流现象，壁流效应造成气液两相在填料层中分布不均，从而使传质效率下降。因此，喷淋吸收塔内的填料层分为两段，中间设置再分布装置，经重新分布后喷淋到下层填料上，为了避免气体携走喷淋液，在塔顶部气水分离器，有效截留喷淋液。喷淋液循环使用，在使用过程中会有部分损失，位于塔底的循环水箱适时补充喷淋液。

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