公司产品包括石英掩膜版,苏打掩膜版,以及菲林版。苏州制版根据客户的构想、草图,定制版图,苏州制版提供高质量掩膜版以及后期的代加工服务!
掩膜板是光刻图形的基准和蓝本,掩膜板上:的任何缺陷都会对终图形精度产生严重的影响。所以掩膜板必须保持“完关”。
使用掩膜板存在许多损伤来源:掩膜板掉铬:表面擦伤,需要轻拿轻放:静电放电(ESD),在掩膜板夹子.上需要连一根导线到金属桌面,将产生的静电导出。另外,不能用手触摸掩膜板:灰尘颗粒,在掩膜板盒打开的情况下,不准进出掩膜板室(Mask Room),在存取掩膜板时室内保持2人。刻蚀或离子注入完成后,将进行光刻的后一步,即将光刻胶去除,以方便进行半导体器件制造的其他步骤。
烤版时还要注意:①烤版箱内的红外灯管一定要横向排列,如纵向排列,往往导致印版瓦楞状变形而影响使用。②烤版胶浓度要合适,如烤版胶太稠,烤版效果和上墨效果也不会令人满意;光掩膜所起的作用类似于底片之于相片,光刻通过光掩膜在芯片上显影。如烤版胶太稀,烤出的版容易上脏。③烤版温度不能过高,温度过高也会导致铝版基韧化和发软,树脂层焦化,影响耐印力。烤版时间太长易导致印版上脏,烤版时间太短达不到烤版的效果。看上去制版工艺不是太复杂,但要想制作出合格的印版,确实需要操作人员用心晒版,用心加工印版。
制版(platemaking)是将原稿成印版的统称。有将铅活字排成活字版,以及用活字版打成纸型现浇铸成凸版和将图像经照像或电子分色获得底片,用底片晒制凸版、平版、凹版等一系列的制版方法。在制版中影响印版质量的因素,主要有显影液浓度、显影温度和显影时间以及显影液的循环搅拌情况、显影液的疲劳程度等。使特定的光波穿过光掩膜照射在光刻胶上,可以对光刻胶进行选择性照射(***)。
PS版的显影时间主要由PS版的种类、***时间及显影液的浓度、显影温度等条件来确定。当上述条件确定制版机后,PS版的显影程度与显影时间成正比关系,即显影时间越长,显影越彻底。但显影时间过长会产生网点缩小等现象。
光刻掩膜版材质可分为石英掩膜版、苏打掩膜版和其他(包含凸版、菲林)等。其中石英掩膜版和苏打掩膜版为高校和科研院所光刻时所常用的光刻掩膜版。
石英掩膜版
使用石英玻璃为基板材料,光学透过率高,热膨胀率低,相比苏打玻璃更为平整和耐磨,使用寿命长,主要用于掩膜版
使用苏打玻璃作为基板材料,光学透过率较高,热膨胀率相对高于石英玻璃,平整度和耐磨性相对弱于石英玻璃,主要用于中低精度掩膜版
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