太仓掩膜板点击了解更多,光刻板
作者:苏州制版2020/10/23 11:28:01






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光刻工艺

是半导体器件制造工艺中的一个重要步骤,利用***和显影在光刻胶层上刻画器件结构,再通过刻蚀工艺将掩膜上的图形转换到衬底上。原位芯片目前掌握电子束光刻,步进式光刻,接触式光刻等多种光刻技术.

光刻板的应用光刻技术主要应用于半导体器件,集成电路制造过程中






光刻板本体的外部边缘增设一保护环,保护环具有多种开孔,以便在保护环处的硅片的边缘处刻出晶粒,将光刻板本体处的硅片保护起来,硅片边缘刻出晶粒后,边缘的不合格情况通过目测可以清楚看出,能有效防止混料情况;光刻掩模版通常用石英玻璃做为化学反应,选用方解石是因为其的近紫外线穿透率。利用本实用新型刻出的硅片,在高压测试时,能防止漏电打火,安全性能具有较大提高





使用铬刻蚀液进行湿法刻蚀,将暴露出的铬层刻蚀掉形成透光区域,而受光刻胶保护的铬层不会被刻蚀,形成不透光区域。这样便在掩膜版上形成透光率不同的平面图形结构。

在有必要的情况下,使用湿法或干法方式去除掩膜版上的光刻胶层,并对掩膜版进行清洗。






光致抗蚀剂也被称为光致抗蚀剂。掩模板上的图案被转移到晶片表面顶层的光致抗蚀剂上,并且在后续工艺中保护下面的材料(蚀刻或离子注入)。光致抗蚀剂由光敏树脂、光引发剂、添加剂、溶剂等组成。其中,光敏树脂是光刻胶的关键成分。







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