氦质谱检漏仪（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。危害：带有较高温度的工件在开展测试时候对充进的汽体不断长时间的加温，在测试环节产品內部的气体压力会居高不下，测试結果出現负值。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。

氦质谱检漏方式 氦质谱检漏技术性是真空泵检漏行业里必不可少的一种技术性，因为检漏高l效率，简单易实际操作，仪器设备反映灵巧，高l精度，不容易受别的气体的干挠，在电阻炉检漏中获得了广泛运用。氦质谱检漏仪是依据质谱学基本原理，用氦气作示漏气体做成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、采l集器、冷阴极弱电解质规构成的质谱室和抽真空系统软件及电气设备一部分等构成。继九十年代初，摩托的发动机缸体、小车的发动机缸体、热管散热器、制动系统、空调蒸发器、天l然气用品等运用清洁干躁气体做为工作中物质对工件的容腔。质谱房内的灯丝发射点出去的电子器件，在房间内往返地l震荡，并与房间内气体和经标准孔板进到房间内的氦气互相撞击使其弱电解质成正离子，这种氦电离在加快静电场***下进到电磁场，因为洛伦兹力***造成偏移，产生圆弧状路轨，更改加快工作电压可让不一样品质的电离根据电磁场和接受缝抵达接受极而被检验。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中l常见的二种方式 。

传统式的密闭性测试方式是自来水开展检测，可是自来水开展密闭性测试有许多缺陷：1.实际操作非常复杂，操作工要必须把产品放到水中，并且许多产品泡茶后还必须晾晒。2.氧分子挺大，细微的漏点，水是沒有方法检测到的3.产品的泄漏是否关键是根据操作工的人眼开展观察，操作工的错判小较为大。可以从销售人员素质、市场份额、客户实力等方面综合判定商家的整体实力。4.测试速率较慢，沒有方法融入迅速的自动化技术生产制造要求。由于这种缺陷的存有，因此大量的生产厂家刚开始挑选较为智能化，测试更快，测试結果精l确的气密性检测仪。